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窒化アルミ セラミックヒーターは、ファインセラミックである「窒化アルミニウム（ALN)」
の熱伝導性、電気絶縁性を利用した新世代の半導体組立モジュールです。
主な特長は、
・熱伝導率が高く発熱体を均一に敷設しておりますので、温度分布が均一です。
・熱膨張係数が低く、熱膨張による変形が少ないので、均一、安定した加圧が行えます。
・発熱体は完全に密封されておりますので、酸化消耗はなく、寿命は半永久です。
（保証値ではありません）
・装置イニシャルが低減できます。
（電源は不要で、AC100V又はAC200Vと温度コントローラで運用可能です）
・LSIの吸着など孔加工も自在ですので、組立工程の加熱とハンドリングが自由に設計できます。
スペック紹介へ
MCM(マルチモジュール）組立に適した、
四角形のLSI実装に適したタイプです。
高速昇温、高速冷却でヒートサイクルを
短縮できるタイプもあります。
・電源：AC100V
・冷却：圧縮エア（コンプレッサエア）
・先端ツール固定：真空吸着 |
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液晶ドライバやコネクタの端子半田付けに
適した長方形のヒーターです。
高速昇温、高速冷却でプロファイル実装が
可能なタイプもあります。
・電源：AC100V
・冷却：圧縮エア（コンプレッサエア）
・先端ツール固定：ステンレスネジ |
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加熱ステージや吸着ステージに採用されています。
高速昇温が可能で温度分布が良く、平坦度が
変わらない窒化アルミヒーターの能力は大盤ヒ
ーターで最大に生かされます。
・電源：AC100V〜AC200V
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窒化アルミヒーターの能力を最大に生かす
レスポンスの早い温度コントローラです。
・駆動方式：サイリスタ
・サンプリング周期：0.025秒
・簡易プロファイル作成機能付き |
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