セラパーツ

セラミック設計、加工事業

エンジニアセラミックの設計、加工をいたします。

主な材質

・窒化珪素（SiN)

・窒化アルミ（AlN)

・炭化珪素（SiC)

・アルミナ（AlO)

・その他、快削性セラミックを含むセラミック全般

用途（事例）

・ヒーターツール、ノズル

・断熱部品

・吸着部品、ウェハー

・押し出し治具、工具

上記以外にも、ご要望に応じ、設計、加工いたします。

製作事例

ウェハー吸着部品	ヒーターツール、治具
	ネジ、作業治具、生産治具